아마도 지난 질문에서 transmission line model 을 공부하셨을 것으로 기대합니다.  하면 반사파, 정합회로, 등에 대해서 소개도 받으셨을 것입니다. 

아울러 전력은 플라즈마 생성을 위해서 쓰이는 것이니, 반사파가 크다는 의미는 플라즈마 생성에 장애가 발행했다는 의미가 되겠습니다. 

인가 전력 --> 매칭 (플라즈마 임피던스와 전원 임피던스 매칭) 

아울러 전력이 플라즈마로 에너지를 전달하는 과정은 '플라즈마 생성' 의 내용을 게시판에서 찾아 보세요. '플라즈마 가열'도 좋습니다.

즉 전력은 전자에 에너지를 주고, 에너지를 받은 전자들은 이온화 및 해리 반응을 통해서 이온 및 라디컬을 만들면서 전원의 에너지는 플라즈마 가열과 생성으로 전달되며, 이때 충돌을 통해서 에너지가 전달되므로, 전기소자로 '저항'의 성분으로 표시하게 됩니다. 따라서 플라즈마는 쉬스, capacitor, 와 본체는 'resistor'로 모사할 수가 있고, 이들의 조합은 플라즈마가 가지는 RF 특성, 플라즈마 유전상수 속에 포함이 됩니다. 참고하시고, 게시판의 내용을 찾아 보기를 권장합니다. 

입력과 출력에 대해 많이 헷갈려하시는 것 같습니다.

AC input 대한 소비전력 -> RF output은 Efficiency line to load (ex : 0.68) 과 Power factor(ex : 0.95) 연관되어 있습니다.

역률로만 계산 한 것으로 보입니다. ( input에만 해당 될 것 같습니다. 지금은 RF output에 대한 전력이 궁금하신 것 같습니다.)

RF match는 Mag phase를 plasma impedance에 맞게 matching 해 주는 전자기기 입니다. 무효전력은 내부에 RLC에 연관 되어 있으므로 chamber에 impedance에 따라 연결되어 있는 RF circuit(filter등을 포함)한 소자들이 전력소비를 하게됩니다. 해당 증상들은 자체 소자에서 열로 소비 되므로 제네레이터나 match에 display 되는 반사파와는 다릅니다. 실제로 궁금할 때는 RF match의 input output에 VI seonsor로 측정합니다. ( self resistance나 self indutance 등 예상치 못한 소자값이 나와 측정하는 게 올바릅니다.)

50ohm 캐릭터인 제네레이터에 VSWR이 1일 때, 전력이 올바르게 전달됩니다. matching은 타겟 임피던스가 틀어진 곳에 VSWR이 1에 가깝도록 하는 행위입니다.