안녕하세요 PECVD설비 다루는 현직 엔지니어 입니다.

 

Setup중 RPS를 쓰지 않아 RF Generator에서 3.5kW를 공급하는데 Shunt box 볼테이지와 주파수 및 클린 레시피도 바꾸어 봤는데 matcher 내부에 아킹이 발생하네요.

 

근데 이상한 점이 Process Run 중일 때는 Clean 에러가 뜨지만 제네레이터 초기화 후 메뉴얼로 RF Clean하면 잘 되는데 아킹 발생 이유를 알 수 있을까요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [316] 82249
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21896
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58682
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70305
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 96076
42 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 129
41 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [플라즈마 생성과 가열] [2] 460
40 CURRENT PATH로 인한 아킹 [RF 접지 면접촉 개선] [1] file 504
39 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 658
» PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher] [2] 831
37 RF 파워서플라이 매칭 문제 928
36 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [RF plasma와 circuit model] [1] 955
35 RF Frequency 가변과 Forward Power의 상관관계 [임피던스 매칭] [2] 1062
34 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp] [1] 1145
33 Plasma Arching [Plasma property] [1] 1232
32 RF 반사파와 이물과의 관계 [Physical/chemical cleaning] [1] 1276
31 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [플라즈마 전류량] [1] 1433
30 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1569
29 MATCHER 발열 문제 [Mathcer와 plasma impedance] [3] 1570
28 Impedence 위상관련 문의 [Circuit model, matching] [1] 1580
27 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [Matcher와 Plasma Impedence] [1] 1805
26 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [Resonator의 matching] [1] 2034
25 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [Wave guide 및 matcher position 변화] [1] 2038
24 매칭시 Shunt와 Series 값 [RF 전원 전력 전달 및 Load/Tune 계산] [1] 2166
23 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [플라즈마 dielectric property] [4] 2551

Boards


XE Login