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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [257] 76444
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20001
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57074
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68544
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91350
22 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 2268
21 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2405
20 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2440
19 임피던스 매칭회로 [1] file 2764
18 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 3777
17 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 4995
16 RF calibration에 대해 질문드립니다. 5764
15 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 6225
14 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 7028
13 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 7954
12 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 9774
11 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 10087
10 Virtual Matchng 16843
9 scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [2] 19196
8 플라즈마 matching 20190
7 ICP 플라즈마 매칭 문의 [2] 21164
6 MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [3] 22567
5 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23308
4 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 27555
3 matching box에 관한 질문 [1] 29629

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