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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요??
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ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의
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ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다.
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전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다.
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dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요?
[1] | 1351 |
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CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요
[1] | 1376 |
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Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다.
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Si Wafer Broken
[2] | 1491 |
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ESC Cooling gas 관련
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ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할
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ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다.
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Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다.
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플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의..
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정전척 isolation 문의 입니다.
[1] | 6772 |
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ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다.
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[질문] 석영 parts로인한 특성 이상
[1] | 19510 |
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Dry Etcher 내 reflect 현상
[2] | 21587 |
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안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다.
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dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐
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esc란?
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