ESC 정전척 isolation 문의 입니다.

2013.08.29 16:00

정영석 조회 수:7655

안녕하세요

이번에 정전척부분을 설계하게 되었습니다.

정전척과 cooling plate는 연결되어 있고 그 조립품은 챔버와 isolation시켜야 한다는데 그 이유가 궁금합니다.

또 isolator는 얼마만큼의 두께로 선정해야 하는지 궁금합니다.

isolator의 재질은 ptfe를 사용하려고 합니다.

선정공식이나 선정 근거에 대한 도움부탁드립니다.

안녕히계세요.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 76930
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20307
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57226
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68777
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92755
23 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] 313
22 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 734
21 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 844
20 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1445
19 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1613
18 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1879
17 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 2105
16 Si Wafer Broken [2] 2545
15 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2839
14 ESC Cooling gas 관련 [1] 3566
13 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 3570
12 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 4369
11 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 5586
10 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6498
» 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7655
8 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 8724
7 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 14857
6 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 16962
5 [질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [1] 19845
4 Dry Etcher 내 reflect 현상 [2] 22261

Boards


XE Login