안녕하세요

반도체 관련 연구를 진행하고 있는 과정에 궁금한 부분이 있어서 글을 남기게 되었습니다.


아시는 바와 같이 J-R Type ESC는 강한 Chucking Force 대비 Process 진행 후 ESC Surface에 Residual Charge가 남아있게 되어 정전기적 힘에 의해 WF 깨짐이나 Sticking등의 문제가 발생, 추가적인 과정을 통해 잔류전하를 제거해야 합니다. 예를들어 ESC를 Ground or Reverse Voltage or Plasma Dechuck등

그중에 Plasma Dehuck를 사용한 Residual Charge 제거 원리가 궁금합니다.


1. 기본적으로 J-R Type의 ESC 에서 RF를 이용한 Etching 진행시, negative 전자로 발생한 Self DC Bias에 의해 + ion이 WF에 이온 충돌을 사용하는데

Process 과정에서 WF 표면의 Charge 관점만 생각하면 Charge가 0v가 되는게 이론상으로 맞는건가요??? (Electon Flux=Ion Flux의 개념을 기반으로)


2. 공정 Condition에 따라 WF에 잔류 전하가 + 이든 - 이든 미량으로 남아있다고 할때, Plasma Dechuck 과정으로 전하 Neutralize가 일어난다고 하는데 이 과정에서 Low Power Plasma의 전자와 이온이 WF에 입사될때 WF에 남아있는 + 와 - Charge와 Compensation 되는 과정으로 이해하면 될까요???


3. 최종적으로 Process -> Plasma Dechuck 이후에는 WF 상의 Charge가 Zero 인것이 베스트인데, 그렇지 못할경우 이론적으로 WF 상의 잔류 전하는 Positive 일지, Negative 일지 어느정도 예상할수 있을까요?


질문이 모호하긴 한데 WF 표면상의 Charge 와 Plasma Dechuck 과정의 메커니즘이 직관적으로 와닺지가 않습니다.

도움 부탁드립니다, 감사합니다...

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [262] 76503
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20047
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57103
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68586
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91564
23 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] 97
22 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 667
21 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 686
20 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1373
19 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1577
18 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1858
17 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 1930
16 Si Wafer Broken [2] 2459
15 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2792
14 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 3325
13 ESC Cooling gas 관련 [1] 3501
12 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 4288
11 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 5440
10 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6445
9 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7579
» Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 8530
7 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 14661
6 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 16889
5 [질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [1] 19827
4 Dry Etcher 내 reflect 현상 [2] 22222

Boards


XE Login