번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48578
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 49789
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 55049
125 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 29
124 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 43
123 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 47
122 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 130
121 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 145
120 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 163
119 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 193
118 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 203
117 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 229
116 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 232
115 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 240
114 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 259
113 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 267
112 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 270
111 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 298
110 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 314
109 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 323
108 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 356
107 ICP 후 변색 질문 385
106 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 401

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