번호 제목 조회 수
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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20273
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57199
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68751
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92694
183 플라즈마 식각 커스핑 식각량 26
182 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 71
181 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 71
180 sputtering 을 이용한 film depostion [1] 139
179 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 186
178 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [1] file 187
177 AP plasma 공정 관련 문의 [1] 204
176 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [1] 205
175 Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] 219
174 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 235
173 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 254
172 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 259
171 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 267
170 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 281
169 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 298
168 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 324
167 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 360
166 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 370
165 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] 397
164 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 405

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