번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [256] 76402
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19992
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57066
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68541
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91339
179 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 18
178 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 122
177 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 124
176 Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] 150
175 AP plasma 공정 관련 문의 [1] 160
174 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [1] file 173
173 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 189
172 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 213
171 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 219
170 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 248
169 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 270
168 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 288
167 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 334
166 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 335
165 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 362
164 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] 363
163 Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] 369
162 PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다. [1] 372
161 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 375
160 PECVD Uniformity [1] 393

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