번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76631
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20134
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57142
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68660
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92073
182 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 48
181 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 57
180 sputtering 을 이용한 film depostion [1] 97
179 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [1] 158
178 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 163
177 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [1] file 184
176 Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] 192
175 AP plasma 공정 관련 문의 [1] 195
174 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 211
173 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 217
172 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 224
171 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 239
170 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 271
169 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 289
168 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 313
167 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 353
166 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 358
165 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] 383
164 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 392
163 PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다. [1] 394

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