안녕하세요

접착력 증가를 위한 플라즈마 처리를 하고 있습니다.

문제는 불소계필러가 들어간 이미드 필름을 에폭시에 붙이려하는데 잘되지 않아서 

표면처리 후 접착력을 증가시켜 보려고합니다.

현재 Ar+H2 로 하고있고 접착력이 증가하긴 하지만 탁월한효과는 못보고있습니다.

혼합가스를 바꾸어보라는 말도있고 소스를 바꿔보라는 말도있던데 

혼합가스 종류나 다른 방법이있을까요 ? 


궁금합니다.


번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [300] 77884
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20772
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57689
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69193
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93539
171 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 332
170 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 332
169 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 366
168 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 398
167 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 403
166 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 419
165 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 442
164 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] 442
163 PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다. [1] 448
162 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 459
161 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 493
160 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 539
159 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 580
158 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 614
157 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 628
156 Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] 651
155 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 653
154 PECVD Uniformity [플라즈마 균일도 제어] [1] 654
153 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 655
152 RF Sputtering Target Issue [2] file 669

Boards


XE Login