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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20133
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57142
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68657
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92057
142 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 723
141 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 727
140 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 731
139 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 751
138 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 839
137 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 864
136 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 866
135 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 883
134 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 970
133 Si 표면에 Ar Plasma Etching하면 안되는 이유 [1] 982
132 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 1037
131 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 1052
130 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 1068
129 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 1086
128 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 1092
127 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 1103
126 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 1115
125 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1137
124 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1152
123 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 1154

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