Deposition [CVD] 막 증착 관련 질문입니다.
2019.01.23 13:10
안녕하세요.
CVD공정쪽에서 일하고 있는 엔지니어 반형진입니다.
a-Si 증착 시 Vdc값이 증착된 막 내의 수소량에 어떻게
영향을 미치는지 알려주시면 정말 감사하겠습니다.
댓글 4
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