안녕하세요, 에칭쪽은 처음 접해보게 된 연구자입니다. Wet 에칭 중에서도 HF 나 F2 의 SiO2 에칭에 관심이 생겨 알아보고 있습니다. 

시간별/온도별 pure HF 와 pure F2 가스의 fused silica glass (SiO2) 또는 quartz SiO2 표면의 에칭율 (etch rate) 자료를 찾아보고 있습니다. 근데 제가 구글 검색 능력이 떨어져서 그런지, 생각보다 별다른 자료가 많이 나오지 않습니다.   

제가 찾은건 

https://pubs.acs.org/doi/full/10.1021/ja993803z?src=recsys

https://www.seas.upenn.edu/~nanosop/documents/Etchratesformicromachiningprocessing.pdf

http://www.its.caltech.edu/~daw/papers/12-NW-preprint.pdf

이런 자료들을 찾기는 했는데, 여전히 순수 HF나 순수 F2 가스와 fused silica SiO2 그리고 quartz SiO2 표면의 온도별/시간별 에칭률이나 에칭반응계수를 찾지는 못했습니다. 

분명 오래된 논문들에 있을것 같은데 제가 검색어를 잘못 넣었는지 찾을수가 없네요. 혹시 wet etching 중 HF나 F2의 fused / quartz silica 에칭률 자료가 있으면 추천 부탁드립니다. 

감사합니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102724
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24675
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61390
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73458
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105792
114 터보펌프 에러관련 [터보 펌프 구동 압력] [1] 2064
113 Pecvd장비 공정 질문 [Dusty plasma와 벽면 particle 제어] [1] 2084
112 PECVD 증착에서 etching 관계 [PECVD 증착] [1] 2200
111 RF FREUNCY와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [CCP와 ionization] [1] 2243
110 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [ER과 self bias] [1] 2273
109 CVD품질과 RF Delibery power 관계 질문 [RF power와 plasma information] [1] 2308
108 플라즈마 에칭과 표면처리의 차이점 질문드립니다. [Cleaning, sputter etching, RIE] [1] 2395
107 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 2471
106 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [소자 식각 데미지] [1] 2529
105 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [MFC와 residence time] [1] 2600
104 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [PECVD와 PACVD] [1] 2682
103 etching에 관한 질문입니다. [충돌 현상 및 이온화 과정] [1] 2694
102 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [Sputter와 sheath, flux] [1] 2705
101 Etch 공정(PE mode) Vpp 변동 관련. [Self bias 형성 과정과 전자의 에너지] [1] 2734
100 doping type에 따른 ER 차이 [MD 시뮬레이션 연구] [1] 2778
99 Dry etch 할 때 센터와 사이드 etch rate [Plasma diffusion과 distribution] [1] 2802
98 산소 양이온의 금속 전극 충돌 현상 [플라즈마 표면 반응] [1] 2813
97 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [Ionization collision 및 Effective ionization energy] [1] 2900
96 DRY Etcher Alarm : He Flow 관점 문의 드립니다. [O ring 결합부 근처 leak detect] [1] 2902
95 PR wafer seasoning [Particle balance, seasoning] [1] 2927

Boards


XE Login