번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48775
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 52795
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 60674
39 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 195
38 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 209
37 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 248
36 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 306
35 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 351
34 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 363
33 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 441
32 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 462
31 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 567
30 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 693
29 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 729
28 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [1] 773
27 etching에 관한 질문입니다. [1] 813
26 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 816
25 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 832
24 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 853
23 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 1023
22 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1024
21 터보펌프 에러관련 [1] 1180
20 Plasma etcher particle 원인 [1] 1225
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