번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48660
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 50558
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 56141
39 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 11
38 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 156
37 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 170
36 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 256
35 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 265
34 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 300
33 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 321
32 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 392
31 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 415
30 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 524
29 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [1] 602
28 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 625
27 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 679
26 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 701
25 etching에 관한 질문입니다. [1] 758
24 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 784
23 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 955
22 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 999
21 Plasma etcher particle 원인 [1] 1139
20 터보펌프 에러관련 [1] 1160
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