Etch etch defect 관련 질문드립니다 [Plasma distribution]

2022.04.28 18:19

르후앤 조회 수:1266

1. etch 공정이 완료된 이후 가장자리에 다량의 defect가 발견되었는데 이때 원인을 분석하기 위한 방법이 무엇이 있을까요?

 

2. 또 1번의 defect를 줄이기 위한 방법이 무엇이 있을까요?

 

저 나름대로 공부를 해봤는데 다른분들 의견이 궁금해서 질문드립니다

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [313] 79250
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21265
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58066
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69623
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 94413
75 ICP 장비 TCP Reflect 발생 간 조언 부탁드립니다. [1] 58
74 플라즈마 식각 커스핑 식각량 88
73 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각] [1] 125
72 Wafer Capacitance 성분과 Vdc 관계 문의드립니다. [Sheath 크기 및 전위 분포] [1] 170
71 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [Sheath uniformity 이해] [1] 184
70 가스 조성 및 온도에 따른 식각률 관련 질문입니다. [Arrhenius equation 이해] [1] 194
69 Debey Length에 대해 문의 드립니다. [플라즈마 정의와 Deybe length] [1] 203
68 ICP dry etch 시 공정 문의 사항. [1] 240
67 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [Ar, O2 플라즈마 생성 특성] [1] 314
66 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [RF matcher noise] [1] 363
65 Etch Plasma 관련 문의 건.. [RF 주파수와 플라즈마 주파수] [1] 370
64 RIE Gas 질문 하나 드려도 될까요? [Sheath instability] [1] 389
63 메틸기의 플라즈마 에칭반응 메커니즘 [공정 플라즈마] [1] 392
62 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [Plasma Cleaning] [1] 441
61 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메커니즘에 대해 질문하고 싶습니다. [플라즈마-화학-표면 반응 모델] [1] 452
60 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [Materials processing] [1] 465
59 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 492
58 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 550
57 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 612
56 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [Self bias와 RIE] [1] 656
쓰기
태그

Boards

XE Login