번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [256] 76426
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19992
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57066
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68542
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91340
36 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 126
35 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 213
34 PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다. [1] 372
33 PECVD Uniformity [1] 393
32 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 458
31 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 659
30 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 710
29 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 1054
28 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1274
27 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 1404
26 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1435
25 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1610
24 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1671
23 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 1729
22 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1802
21 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] 2206
20 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2852
19 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 3119
18 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] 4090
17 플라즈마 색 관찰 [1] 4145

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