Deposition O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다.
2022.11.23 17:08
안녕하세요. TBIDMW를 사용한 WC_x 박막에 관한 논문을 읽던 중 궁금한 점이 생겼습니다.
TBIDMW 소재 관련 공정 진행 후 남은 부산물에 관해 O2 Plasma를 사용한 PPS 시스템 사용 시
아민 계열을 해리시키고 남은 메탈 소재에 대해서 O2 plasma로 부산물을 안전하게 처리가 되는지 궁급합니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [220] | 75427 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19163 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56479 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 67558 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 89368 |
| 34 | Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] | 143 |
| 33 | PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다. [1] | 264 |
| 32 | magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] | 427 |
| 31 | 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] | 608 |
| » | O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. | 626 |
| 29 | 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] | 930 |
| 28 | [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] | 1185 |
| 27 | PECVD 증착에서 etching 관계 [1] | 1277 |
| 26 | Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] | 1306 |
| 25 | PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] | 1401 |
| 24 | Pecvd 장비 공정 질문 [1] | 1432 |
| 23 | CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] | 1453 |
| 22 | RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] | 1683 |
| 21 | 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] | 2007 |
| 20 | PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] | 2673 |
| 19 | HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] | 2698 |
| 18 | 플라즈마 색 관찰 [1] | 3827 |
| 17 | SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] | 3898 |
| 16 | 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] | 6383 |
| 15 | 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] | 7867 |