Q & A

번호	제목	조회 수
공지	[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [113]	4931
공지	Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법	16300
공지	개인정보 노출 주의 부탁드립니다.	51252
공지	kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수	63769
공지	질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2]	83577
14	Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다.	32
13	Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1]	222
12	IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2]	488
11	압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1]	1253
10	chamber impedance [1]	1677
9	플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1]	1715
8	CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1]	1763
7	안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1]	2133
6	Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1]	2466
5	안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3]	5037
4	RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2]	5773
3	ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1]	24305
2	Reflrectance power가 너무 큽니다. [1]	24357
1	플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2]	26675

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