| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 48775 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 52793 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] | 60672 |
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안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출)
[1]  | 741 |
| 8 | 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] | 830 |
| 7 | Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] | 1157 |
| 6 | chamber impedance [1] | 1356 |
| 5 | 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] | 4250 |
| 4 | RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] | 4506 |
| 3 | Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] | 24006 |
| 2 | ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] | 24084 |
| 1 | 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [1] | 25990 |