Chamber Impedance Reflrectance power가 너무 큽니다.

2010.06.01 23:24

최두호 조회 수:24815 추천:146

안녕하세요.
저는 미국 카네기멜론 대학 재료공학과 박사과정에 재학중인 최두호라고 합니다.

rf 스퍼터링 시스템이 랩에 있는 데, 예전에는 rf 스퍼터로 SiO2를 증착하였는 데(reflectance power는 거의 0), 언제부턴가 reflectance power가 너무 큽니다. (forward가 100W 이면, reflectnace power는 70 W 정도).

Advanced Energy 사의 controller를 쓰는 데요, 주로 오토모드로 사용을 합니다. 매뉴얼 모드로 하면 오히려 reflectance power가 더 올라가더라구요.

그래도 플라즈마 glowing은 유지가 되구요. (rf 자체로는 되지가 않고, 같은 chamer에 연결된 dc로 먼저 플라즈마를 만들고, rf를 켜고, dc를 끄면 plasma가 유지가 됩니다.)

그런데, dc bias가 너무 낮네요. 예전에 제대로 동작할 때는 fowrad bias가 100 W 일 때, dc bias가 -200 V  정도 되었는 데요, 현재는 -60~70V 밖에 되지 않습니다. 그래서 forward를 올리니까 dc bias도 커지더군요. (reflectance power도 올라갑니다)
이런 식으로 해서 forward를 증가시켜 dc bias를 증가시키는 방법으로 해도 장비나 케이블에 무리가 가지 않나요?

재료과라서 impednace에 대해 거의 모릅니다. 쉽게 설명해주시면 감사하겠습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [262] 76503
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20046
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57103
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68585
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91562
15 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 377
14 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 532
13 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 856
12 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1481
11 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1678
10 chamber impedance [1] 2001
9 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 2284
8 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2560
7 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 3524
6 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 3620
5 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] 5839
4 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 7124
3 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24728
» Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24815
1 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 27199

Boards


XE Login