안녕하세요 교수님.

Display 회사에서 근무중인 김민철입니다.

제가 질문드리고자 하는 내용은 a-Si표면에 N2 Blowing Ionizer 사용 시 어떤 반응이 생기는지에 대해 궁금증이 있어 문의드립니다.

Display 공정 중 Excimer laser annealing 전에 Ionizer를 진행 하는데 이때 정전기 제거가 아닌 다른 영향을 줄 수 있는가에 대해 연구중입니다.

아래 다른 게시글을 참조해보니 N2 Ionizer 사용 시  N2가 분해되어 (+)이온이된다고 하셨는데 이러한 이온이나  N, O, electron 등이  a-Si 표면에 있는 Si의 dangling bond와 결합을 할수있는 지가 궁금 합니다.

이를 통해 후공정으로 진행하는 Excimer laser annealing을 진행할 때, Si의 결정화에 영향을 미칠지가 궁금합니다.

만약 영향을 줄 수 있다면 Si의 어떤 결합이 생기고 반도체의 성질에 어떤 영향이 있을지요 (ex) 불순물로 인한 Doping 장벽 역활 등등...

논문이나 자료를 찾기위해 플라즈마와 관련하여 검색중에 교수님 이름이 많아 조언 부탁드리게 되었습니다.

바쁘실테지만 상기 내용에 대해서 조언 부탁드립니다.

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [131] 5633
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16938
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51356
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64231
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84428
28 핵융합 질문 [1] 384
27 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 406
26 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 491
25 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 594
24 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 684
23 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 689
22 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 731
21 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 753
20 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 761
19 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 997
18 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1074
17 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 1285
16 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1422
» N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1466
14 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2098
13 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 2131
12 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 2728
11 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 2879
10 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] file 4881
9 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6209

Boards


XE Login