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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [Arc와 cleaning]
[1] | 4058 |
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챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [Arc 형성 조건]
[3] | 5735 |
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공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [공동형 토치의 운전법 및 방전특성이해]
[2] | 6586 |
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코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [Reaction rate 및 reaction rate coefficient]
[1] | 6977 |
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Microwave 장비 관련 질문 [RF Plasma의 주파수에 따른 파장의 길이]
[1] | 8831 |
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저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다.
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냉각수에 의한 Power Leak [Density와 Power]
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플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [수중방전의 heating source]
[1] | 16375 |
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AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상… [Plasma Current와 dielectricity]
| 19580 |
3 |
Xe 기체를 사용한 플라즈마 응용
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2 |
광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요?
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1 |
Plasma source type [CCP, ICP, TCP]
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