번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [131] 5631
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16935
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51356
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64231
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84428
693 plasma modeling 관련 질문 24
692 OLED에서 SF6와 CF4를 사용하는 이유를 알고 싶습니다. 25
691 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 65
690 ESC DC 전극 Damping 저항 74
689 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 74
688 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 86
687 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 119
686 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 137
685 RF Sputtering Target Issue [1] file 138
684 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 141
683 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 152
682 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 153
681 Polymer Temp Etch [1] 154
680 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 157
679 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 159
678 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 167
677 plasma striation 관련 문의 [1] file 172
676 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 174
675 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 200
674 RPSC를 이용한 SiO, SiN Etch 관련 문의드립니다. [1] 205

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