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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68068
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90361
117 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] new 137
116 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] new 216
115 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] new 251
114 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] new 263
113 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] new 274
112 CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] newfile 283
111 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] new 378
110 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. new 497
109 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] newfile 505
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106 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 new 536
105 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] new 554
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100 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] new 784
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