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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [330] 102020
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24528
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61175
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73218
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105414
132 PEALD 챔버 세정법 [1] 169
131 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 177
130 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [열전달 방정식 이해] [1] 245
129 RF ROD 연결부 부하로 인한 SHUNT, SERIES 열화 [2] file 271
128 플라즈마 설비에 대한 질문 290
127 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [유전체 상태 모니터링] [1] 331
126 HF와 LF중 LF REFLECT POWER가 커지는 현상에 대해서 도움이 필요합니다. [2] 360
125 chamber에 인가되는 forward power 관련 문의 [송전선로 모델 및 전원의 특성] [1] 534
124 인가전압과 ESC의 관계 질문 [Floating sheath] [1] 559
123 HE LEAK 과 접촉저항사이 관계 [국부 방전과 chucking] [1] 604
122 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [플라즈마 생성과 가열] [2] 624
121 Forward와 Reflect가 계속해서 걸립니다. [RF generator] [2] file 628
120 ICP Plasma etch chamber 구조가 궁금합니다. [플라즈마 생성 공간과 플라즈마 확산] [1] 632
119 CURRENT PATH로 인한 아킹 [RF 접지 면접촉 개선] [1] file 663
118 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 710
117 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 712
116 ESC 사용 공정에서 Dummy Wafer Chuck Force 에 대해서 궁급합니다 [1] 715
115 CCP Chamber 사용 중 Impedance 변화 원인 문의드립니다. [Chamber impedance 변화] [1] 720
114 Bias인가 Cable 위치 관련 문의 [플라즈마 분포 관찰] [1] 740
113 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의 드립니다. [플라즈마 분포와 확산] [1] 761

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