안녕하세요 관리자님 및 플라즈마 고수님들..

다름이 아니오라, 제고 궁금한 몇가지가 있어서 문의를 드리게 되었습니다.



우선 첨부된 ppt문서와 더불어 문의 드리면,

1번 그림에서와 같이 사각형 챔버(내부는 절연을 위한 anodizing처리함)의 상부에 Eledtrode를 전면적으로 구성하고,

상기 Electrode의 센터부를 통해 RF가 인가된다면 플라즈마의 형상이 벽면의 쉬스영역을 제외하고

그림과 같이, 전반적으로 둥근 타원형 형상을 이루는지 궁금합니다.

만약 그렇다면 모서리부분에 데드존이 발생하는데, 이를 보완하는 방법중의 하나로 생각한 것이

모서리부위에 접지를 강화를 위해 접지바를 설치하는 것인데

이렇게 되면 플라즈마의 형상은 어떻게 되는지요?

제가 추측하기로는 모서리부에서의 전자이동이 활발하여 데드존이 조금이나마 보완될 듯 한데요..

그림 2참조...(모서리 부위로 플라즈마 분포가 넓게 펼쳐진 타원형상)



3번 그림에서와 같이 상부 하나의 Electrode에 두개의 RF Feeding을 하는 구조에서

플라즈마의 쏠림이 A방향이 강하다라고 가정하고, 이를 보완하고자, 우측의 RF Feeding에 고정임피던스를 추가하되,

고정임피던스의 nH값은 RF의 쏠림현상을 감안하여 계산하여 임피던스를 추가하면

플라즈마가 B방향으로 이동을 하는지 궁금합니다.



마지막으로, 4번 그림에서와 같이 상부 하나의 Electrode에 두개의 RF Feeding을 하는 구조에서

플라즈마의 쏠림이 A방향이 강하다라고 가정하고, 이를 보완하고자, 우측의 RF Feeding에 가변카페시터를 추가하되,

가변카페시터의 nF값은 RF의 쏠림현상을 감안하여 계산하여 카페시터를 추가하면

플라즈마가 B방향으로 이동을 하는지 궁금합니다.



요즘 RF, 플라즈마 관련하여 궁금한것이 많이 생겼습니다.

혹, 초보자가 쉽게 이해할 수 있는 관련 서적이나, 사이트가 있다면 더불어 소개해주시면 감사하겠습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102810
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24682
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61401
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73469
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105812
112 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [플라즈마 회로 설계] [2] 848
111 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [전자 가열 방법 및 생산성에 따른 구별] [1] 871
110 RPC ClEAN시 THD 발생 [RF shield와 ground의 강화] [1] 904
109 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [Plasma heating] [1] 944
108 RF 파워서플라이 매칭 문제 1018
107 경전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 1095
106 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [RF plasma와 circuit model] [1] 1100
105 연면거리에 대해 궁금합니다. [아크 제어] [1] 1166
104 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher] [2] 1173
103 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [오존발생기] [1] 1235
102 고진공 만드는방법. [System material과 design] [1] 1274
101 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase] [1] 1314
100 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp] [1] 1368
99 Plasma Arching [Plasma property] [1] 1402
98 대학원 진학 질문 있습니다. [전공 설계] [2] 1434
97 RF 반사파와 이물과의 관계 [Physical/chemical cleaning] [1] 1456
96 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [플라즈마 밀도 및 전위 제어] [1] 1480
95 ICP VIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [Plasma breakdown 및 생성] [1] file 1525
94 CCP챔버 접지 질문드립니다. [장치의 접지 일체화] [1] file 1617
93 RF Frequency 가변과 Forward Power의 상관관계 [임피던스 매칭] [2] 1622

Boards


XE Login