Others CCP형, 진공챔버 내에서의 플라즈마...

2009.08.05 13:02

공학도 조회 수:20008 추천:219

안녕하세요 관리자님 및 플라즈마 고수님들..

다름이 아니오라, 제고 궁금한 몇가지가 있어서 문의를 드리게 되었습니다.



우선 첨부된 ppt문서와 더불어 문의 드리면,

1번 그림에서와 같이 사각형 챔버(내부는 절연을 위한 anodizing처리함)의 상부에 Eledtrode를 전면적으로 구성하고,

상기 Electrode의 센터부를 통해 RF가 인가된다면 플라즈마의 형상이 벽면의 쉬스영역을 제외하고

그림과 같이, 전반적으로 둥근 타원형 형상을 이루는지 궁금합니다.

만약 그렇다면 모서리부분에 데드존이 발생하는데, 이를 보완하는 방법중의 하나로 생각한 것이

모서리부위에 접지를 강화를 위해 접지바를 설치하는 것인데

이렇게 되면 플라즈마의 형상은 어떻게 되는지요?

제가 추측하기로는 모서리부에서의 전자이동이 활발하여 데드존이 조금이나마 보완될 듯 한데요..

그림 2참조...(모서리 부위로 플라즈마 분포가 넓게 펼쳐진 타원형상)



3번 그림에서와 같이 상부 하나의 Electrode에 두개의 RF Feeding을 하는 구조에서

플라즈마의 쏠림이 A방향이 강하다라고 가정하고, 이를 보완하고자, 우측의 RF Feeding에 고정임피던스를 추가하되,

고정임피던스의 nH값은 RF의 쏠림현상을 감안하여 계산하여 임피던스를 추가하면

플라즈마가 B방향으로 이동을 하는지 궁금합니다.



마지막으로, 4번 그림에서와 같이 상부 하나의 Electrode에 두개의 RF Feeding을 하는 구조에서

플라즈마의 쏠림이 A방향이 강하다라고 가정하고, 이를 보완하고자, 우측의 RF Feeding에 가변카페시터를 추가하되,

가변카페시터의 nF값은 RF의 쏠림현상을 감안하여 계산하여 카페시터를 추가하면

플라즈마가 B방향으로 이동을 하는지 궁금합니다.



요즘 RF, 플라즈마 관련하여 궁금한것이 많이 생겼습니다.

혹, 초보자가 쉽게 이해할 수 있는 관련 서적이나, 사이트가 있다면 더불어 소개해주시면 감사하겠습니다.
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [113] 4906
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16237
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51250
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63754
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83542
88 고진공 만드는방법. [1] 787
87 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 794
86 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 816
85 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 822
84 RF matcher와 particle 관계 [2] 870
83 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. [1] 952
82 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 963
81 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 1001
80 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1124
79 MATCHER 발열 문제 [3] 1141
78 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1158
77 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1199
76 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1251
75 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 1454
74 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1543
73 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 1591
72 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1605
71 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 1639
70 chamber impedance [1] 1674
69 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 1686

Boards


XE Login