안녕하세요. 졸업을 압두고 있는 석사과정의 대학원생입니다.

 

다름이 아니라 졸업논문을 위해 실험하던중 icp플라즈마 매칭 관련 문의를 드릴것이 있어서 이렇게 글을 남깁니다.

 

진공 챔버 전단에 내경 100mm 길이 600mm의 석영관의 반응기가 설치 되어 있고(진공분위기를 위해 0.1Torr~ 0.4Torr)

 

ICP형상의 전극구조가 반응기 위에 코일 형식의 1/4inch 크기의 동파이로 감겨 있습니다.

 

전원공급기로는 RF전원으로 구동주파수 13.56MHz 출력임피던스 50 전력범위 1.6kw의 사양을 갖고 있습니다.

 

RF매칭 박스를 통해 나오는 전원케이블과 그라운드케이블을

 

전극 끝단에 물려있는 상태입니다.

 

바탕가스는 Ar 이 약 200sccm이 흐르고 있습니다.

 

이 시스템 상황에서 플라즈마가 발생이 안되고 있습니다.

 

전원공급기의 디스플레이에서

 

forward power와 reflected power 가 거의 같습니다.

 

전원공급기 업체 기술자 분이 오셔서 매칭 박스 안의 작은 소자 같은걸 교환해보거나

load indicate , tune indicate 를 조작하고

아무튼 해결을 못하고 있습니다.

 

저도 이쪽으로는 지식이 없어 어려움을 겪고 있습니다.

 

매칭 문제에 대해서 기술자분에게 조언을 해줄수 있는 부분이나

다른 도움이 될 수 있는 정보좀 부탁드리겠습니다.

 

감사합니다.

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102740
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24677
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61391
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73462
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105796
112 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [플라즈마 회로 설계] [2] 848
111 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [전자 가열 방법 및 생산성에 따른 구별] [1] 871
110 RPC ClEAN시 THD 발생 [RF shield와 ground의 강화] [1] 904
109 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [Plasma heating] [1] 944
108 RF 파워서플라이 매칭 문제 1018
107 경전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 1095
106 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [RF plasma와 circuit model] [1] 1100
105 연면거리에 대해 궁금합니다. [아크 제어] [1] 1166
104 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher] [2] 1173
103 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [오존발생기] [1] 1235
102 고진공 만드는방법. [System material과 design] [1] 1274
101 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase] [1] 1314
100 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp] [1] 1368
99 Plasma Arching [Plasma property] [1] 1402
98 대학원 진학 질문 있습니다. [전공 설계] [2] 1434
97 RF 반사파와 이물과의 관계 [Physical/chemical cleaning] [1] 1456
96 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [플라즈마 밀도 및 전위 제어] [1] 1479
95 ICP VIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [Plasma breakdown 및 생성] [1] file 1524
94 CCP챔버 접지 질문드립니다. [장치의 접지 일체화] [1] file 1617
93 RF Frequency 가변과 Forward Power의 상관관계 [임피던스 매칭] [2] 1622

Boards


XE Login