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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20202 |
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다.
[1] | 1179 |
121 |
챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화
[1] | 1183 |
120 |
Plasma etch관련 질문이 드립니다.
[1] | 1244 |
119 |
[CVD] 막 증착 관련 질문입니다.
[4] | 1295 |
118 |
텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다.
[1] | 1309 |
117 |
Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다.
[1] | 1376 |
116 |
Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다.
[1] | 1380 |
115 |
부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다.
[1] | 1386 |
114 |
poly식각을 위한 조언 부탁드립니다.
| 1409 |
113 |
Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다.
[1] | 1425 |
112 |
Ar plasma power/time
[1] | 1437 |
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PECVD 증착에서 etching 관계
[1] | 1499 |
110 |
Pecvd 장비 공정 질문
[1] | 1661 |
109 |
CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문
[1] | 1730 |
108 |
터보펌프 에러관련
[1] | 1756 |
107 |
wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상
[1] | 1793 |
106 |
PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다!
[1] | 1849 |
105 |
RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다.
[1] | 1865 |
104 |
압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다.
[1] | 1936 |
103 |
식각 시 나타나는 micro-trench 문제
[1] | 1982 |