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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[235]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Compressive한 Wafer에 대한 질문
[1] | 184 |
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PECVD Uniformity
[1] | 196 |
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PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다.
[1] | 314 |
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magnetic substrate와 플라즈마 거동
[3] | 438 |
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기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다.
[2] | 624 |
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O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다.
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엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다.
[1] | 996 |
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[CVD] 막 증착 관련 질문입니다.
[4] | 1228 |
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PECVD 증착에서 etching 관계
[1] | 1339 |
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26 |
Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다.
[1] | 1342 |
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25 |
Pecvd 장비 공정 질문
[1] | 1521 |
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24 |
CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문
[1] | 1556 |
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23 |
PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다!
[1] | 1563 |
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22 |
RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다.
[1] | 1724 |
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21 |
플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다.
[1] | 2099 |
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HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의
[1] | 2759 |
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PECVD Precursor 별 Arcing 원인
[1] | 2837 |
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플라즈마 색 관찰
[1] | 3955 |
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17 |
SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문
[1] | 3982 |
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16 |
플라즈마 데미지에 관하여..
[1] | 6431 |
