안녕하세요 저는 유니스트에 재학중인 대학원생 홍석모입니다.


제가지금 ICP CVD장비를 사용하고 있는데 플라즈마에 대한 배경지식이 없어서 혹시나 도움이 될까 글을 남겨 봅니다.


지금 저희가 쓰고 있는 장비의 스펙에 대해서 간단히 설명드리면

cylinder type

출력 주파수 13.56MHz 

주파수 안정도 ±0.005% 

RF 출력 임피던스 50 ohm nominal 

AC 입력Power Line 208/220/230 Vac/단상 50-60Hz 

정격RF Power Output YSR-06MF: 600W @ 50 ohm. 

RF Output Connector N Type 

DIMENSION 482W * 458D * 178H / 36Kg

그리고 작동 압력은 0.1 torr에서 0.01torr사이에서 작동 하고 있습니다.


제가 궁금한것은 power와 ionenergy사이의 관계를 알고 싶고, 시뮬레이션이 가능하다면 어떤 프로그램으로 할수 있는지 알려주시면 정말 감사하겠습니다.


감사합니다.


홍석모.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [113] 4906
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16238
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51250
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63754
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83552
678 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 17
677 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 24
676 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 file 33
675 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 54
674 Polymer Temp Etch [1] 60
673 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 73
672 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 81
671 Plasma Arching [1] 95
670 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 106
669 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 137
668 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 157
667 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 194
666 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 199
665 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 202
664 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 205
663 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 208
662 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 215
661 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 218
660 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 246
659 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 274

Boards


XE Login