OES OES 원리에 대해 궁금합니다!

2018.05.31 19:08

이혜지 조회 수:26200

안녕하세요 한양대학교에서 공부하고 있는 학생입니다

이번에 플라즈마 수업을 듣는데 플라즈마를 검진하는 방법중에 하나인 OES에 대해서 조사를 해보고 있는데

생각보다 자료가 많이 나오지 않아서 어려움을 겪고 있습니다

플라즈마 검진법중 하나인 OES에 대해서 조금 자세하게 설명 해주실수 있을까요??

부탁드립니다!

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] 76882
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20277
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57199
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68755
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92710
798 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] update 2
797 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 14
796 Druyvesteyn Distribution 19
795 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] 27
794 플라즈마 식각 커스핑 식각량 32
793 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 52
792 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 64
791 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] 69
790 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 71
789 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 73
788 플라즈마 설비에 대한 질문 73
787 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] 76
786 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 79
785 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] 86
784 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 94
783 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 95
782 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 118
781 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 119
780 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] 120
779 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 138

Boards


XE Login