ICP ICP reflecot power [Insulator와 rf leak]

2019.11.13 16:44

김도성 조회 수:2057

안녕하세요 교수님

반도체 공정 장비엔지니어로 근무중인 엔지니어입니다.

게시판과 질문글 내용을 찾아보다 궁금한점을 해소할수 없어 게시판에 질문글을 올리게 되었습니다.

 

sputter장비 ICP power 인가와 관련된  특이점이 지속적으로 발생되어 확인중에 있습니다.

 

장비 구조

-. RF etch chamber

-. ICP power 2.1Mhz 375W (none matching) _ Chamber 상단에 ICP power

-. RF power 13.5hMhz 150W (RF matching) _ Process stage bias power

 

process sequence와 특이점은 다음과 같습니다.

1. Ar gas boost 200sccm

2. Ar gas input 80sccm

3. ICP power 375W & RF power 150W 동시 인가 : Striking plasma 과정에서 RF (Bias) matching 동작

4. Striking Plasma 정상 이후 process 진행됨

 

문제점 : 3번 항목에서 ICP power 인가시 간헐적인 reflect power 발생으로 Power on 인식 불가

간헐적이라 함은, 장비 가동후 40분~1시간 까지는 상기 reflect power 발생없이 진행되나

40분~1시간 이후부터는 50%확률로 reflect power가 발생되는 부분입니다.

제품 진행을 멈추고 1시간 정도 대기했다가 다시 장비 가동시 문제 현상이 반복되고 있습니다.

 

추측하기로는

1번. ICP power와 RF power가 동시 인가되나, ICP power의 matcher 부재로 인한 reflect power 제어 불가

: 원래 장비 concept은 RF power 인가 이후 ICP power인가되어야 하나, 장비 개조(with 장비 maker) 이후

동시 인가되는 방식으로 변경됨. 개조 이후 1년 경과시점부터 해당 문제 발생

 

2번. ICP chamber 상단의 냉각 능력 저하

 :  안테나 코일과 냉각 라인이 설치되어 있음. 정확한 냉각 라인내부 온도 측정 및 flow meter 확인이 어려움

  

이와 같은 상황에서 어떠한 방식으로 점검 point를 맞춰나갈지

조언을 부탁드리고자 글을 올리게 되었습니다.

 

  

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102595
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24653
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61347
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73428
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105732
833 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 120
832 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 185
831 Ar Plasma로 AlN Pedestal 표면에 AlFx desorption 가능 여부가 궁금합니다. [1] 187
830 플라즈마 식각 커스핑 식각량 224
829 PEALD 챔버 세정법 [1] 242
828 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [열전달 방정식 이해] [1] 256
827 RF BIAS REDLECT POWER HUNTING 문제 [1] 262
826 Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [표면파의 전파] [1] 286
825 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 296
824 동일한 RF방전챔버에서 화학종별 이온화율에 대한 질문 [1] 299
823 플라즈마 설비에 대한 질문 301
822 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스] [1] 324
821 corona model에 대한 질문입니다. [준중성과 저압플라즈마] [1] 333
820 Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [식각 플라즈마의 가장자리 균일도 제어] [1] 334
819 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각] [1] 337
818 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [유전체 상태 모니터링] [1] 342
817 Lxcat dataset에 따른 Plasma discharge에 대한 질문입니다. [CX 데이터] [1] 347
816 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [Bactericidal 이해] [2] 347
815 DC Arc Plasma Torch 관련 문의 [1] 351
814 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. 364

Boards


XE Login