현재 BTO 박막을 CF4/Ar gas 를 이용하여 플라즈마 식각을 진행하고 있습니다. 

OES 분석을 위해 CF3 파장이 필요한데 제가 가지고 있는 data에 없어서 이렇게 문의 드립니다.

혹시 OES 분석이나 실험 분석에 사용했던 CF3의 파장이 있으시다면 알려주실수 있으신가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5833
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17289
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53125
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64505
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85119
698 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 32
697 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 69
696 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 73
695 ICP lower power 와 RF bias [1] 108
694 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 109
693 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 124
692 plasma modeling 관련 질문 [1] 162
691 ESC DC 전극 Damping 저항 164
690 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 166
689 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 169
688 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 185
687 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 217
686 RF Sputtering Target Issue [1] file 221
685 plasma striation 관련 문의 [1] file 223
684 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 224
683 Polymer Temp Etch [1] 227
682 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 232
681 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 236
680 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 243
679 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 247

Boards


XE Login