CCP RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때
2021.08.10 15:58
안녕하세요 교수님 유용한 답변 항상 잘 활용하고 있습니다.
제가 부족한 점이 많아 자꾸만 여기에 여쭙게 되네요.
저는 CCP Plasma를 base로 하는 장비를 주력으로 다루고 있습니다.
저희는 RF를 Showerhead에 걸어주는데요.
이번에 TC를 통해서 Plasma가 켜졌을 때 Showerhead의 온도 동향을 파악하는 평가를 하려고 합니다.
그래서 Showerhead에 TC를 달아서 온도를 측정하려고 합니다.
그런데, 제가 알기로는 TC는 온도에 따라 다르게 형성되는 전압을 측정해 온도를 측정하는 것으로 알고있습니다.
그래서 Showerhead에 강한 Power(2000~3000W)를 걸어주었을 때 TC에 어떤 문제가 생기지는 않을까 걱정이 됩니다.
교수님은 어떻게 생각하시는지요?
혹은 추천해주실만한 다른 측정법이 있으신지 궁금합니다.
항상 감사합니다!
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위험합니다. TC gauge 동작 원리를 찾아 보시고 사용하는 것이 좋겠군요. 비접촉식 방법으로 전극온도 측정은 pyrometer 를 이용하는 방법이 있습니다. 참고하시기 바랍니다.