Sputtering gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [박막 문제]

2023.11.13 17:15

도로지 조회 수:317

안녕하세요 스퍼터링 공부중인 학생입니다.

실험으로 스퍼터김운용 중 기타 변수들을 동일하게 하고 Ar20 sccm고정 02 를 2,4,6 조절하며 두께 및 저항값을 측정하고 있습니다.

 o2양이 증가함에 따라 deposition rate가 감소하여 동일시간 증착시 더  증착되고 저항값도 커지는걸로 알고 있습니다만 제가 알고 있는 것이 맞을까요?

또한 4point prboe 측정시 2sccm 은 면저항이  5.6 옴정도로 측정되고 4sccm은 평균 400옴정도로 측정되는데 정상인지 여쭤보고 싶습니다.

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