안녕하세요

은퇴후 자작으로 해봅니다.

이쪽은 생소한 분야라서 공부하면서 실험합니다. (본래 저는 전자공학을 전공했습니다.)

백금족 전극으로 수도물에

1)  DC 12V를 인가하여 5분간 전기분해 개념으로 작동했더니, >> ORP = -200~-300mV, Ph=7.5~7.7, 수소 300~400PPB 정도가 생성,

2) 같은 조건으로 30초 간격으로 전극의 극성을 바꾸었더니 측정 결과는 조금 높게 나옵니다.

3) 그리고 이번에는 DC 12, 10KHz 구형파를 작동식켜보니 좀더 나은 데이터가 나오고

4)  24KHz를 걸어보니 좀더 나은 데이터가 나오는데

질문은요...

(1) 위 실험 중에서 전기분해와 플라즈마 발생을 나눌 수 있나요.

    예를들면 1), 2)는 전기분해, 3),4)는 플라즈마...

(2) 위 1과 2가 다른 데이터가 나오는 이유가 무엇일까요.

(3) 3,4 에서 주파수를 계속높이면 더 좋은 결과를 얻을 수 있을까요.

(4) 그렇다면 주파수는 얼마까지 높일 수 있나요.

설명 주시면 감사하겠습니다.


번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5835
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17291
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53125
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64513
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85127
498 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1013
497 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1018
496 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1020
495 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] 1029
494 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 1029
493 자기 거울에 관하여 1037
492 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1045
491 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1051
490 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 1064
489 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1066
488 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 1070
487 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1073
486 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1095
» 플라즈마 기초입니다 [1] 1126
484 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1139
483 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 1152
482 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1156
481 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1177
480 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1177
479 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1193

Boards


XE Login