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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68585
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561 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 1060
560 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 1066
559 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 1071
558 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 1081
557 전자 온도 구하기 [1] file 1088
556 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 1090
555 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 1091
554 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 1092
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552 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 1103
551 wafer bias [1] 1109
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549 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1116
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547 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1126
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