번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [129] 5614
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16910
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51350
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64217
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84238
432 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 1427
431 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1430
430 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1434
429 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 1457
428 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1465
427 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1477
426 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1478
425 질문있습니다. [1] 1487
424 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1494
423 플라즈마 관련 기초지식 [1] 1501
422 터보펌프 에러관련 [1] 1502
421 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 1512
420 RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [1] 1527
419 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1556
418 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1559
417 etching에 관한 질문입니다. [1] 1570
416 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 1583
415 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1590
414 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1598
413 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 1598

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