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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜.
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Plasma Cleaning 관련 문의
[1] | 1364 |
515 |
텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다.
[1] | 1366 |
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Plasma arcing 관련하여 문의드립니다.
[1] | 1367 |
513 |
[질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문
[2] | 1379 |
512 |
Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다.
[1] | 1386 |
511 |
플라즈마 내에서의 현상
[1] | 1393 |
510 |
OES 분석 관련해서 질문드립니다.
[1] | 1394 |
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수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다.
[1] | 1395 |
508 |
dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!!
[1] | 1406 |
507 |
부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다.
[1] | 1406 |
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플라즈마 관련 교육
[1] | 1413 |
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Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다.
[1] | 1413 |
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poly식각을 위한 조언 부탁드립니다.
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O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다.
[1] | 1433 |
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ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의
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MATCHER 발열 문제
[3] | 1435 |
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Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다.
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Ar plasma power/time
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PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다.
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공정 플라즈마와 관련된 강의는 학회 및 교육기관에서 외부인을 대상으로 진행하는 강의를 수강하는 편이 좋을 것 같습니다. 해당 강의0 들은 현업의 사례에서 다루는 플라즈마를 소개할 것입니다. 예전에는 한국기술교육대학에서 정기적인 강의가 있었고 최근에 학회에서 진행되는 강의는 진공학회 (www.kvs.or.kr) 춘계 학술대회 기간 중 (2017년 2월 15일(수) ~ 2월 17일(금)/ 강원도 횡성) 목요일에 "플라즈마 진단" 주제의 기술 심포지움이 있습니다. 참고하세요. 아울러 공정 플라즈마 관련 대학원생들에게 제공된 강의인 PSES-net 플라즈마 교육 프로그램이 올해 진행되면 저희 홈페이지에서 공지를 할 것이 참고하시기 바랍니다.
또한 참고로 추천드릴 교재는 정진욱교수님 역저인 "공정플라즈마 기초와 응용"이 있고, 심화 과정으로는 Principles of plasma discharges and material processings (Lieberman and Lichtenberg) 교재를 권합니다.