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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73532
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153 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [ICP와 H field] [1] 652
152 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [RF 전원과 매칭] [1] 659
151 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [식각 교재 참고] [1] file 666
150 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [Plasma breakdown과 살균 과정] [1] file 685
149 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [플라즈마 생성 반응] [1] 701
148 ICP에서 biasing 질문 [RF sheath와 self bias] [1] 708
147 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [Powder] [1] 742
146 챔버의 Plasma density 확인방법 문의드립니다. [플라즈마 모니터링, OES, LP] [1] 762
145 수중방전에 대해 질문있습니다. [플라즈마 생성 및 방전] [1] 788
144 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [열플라즈마와 "플라즈마 금속학"] [1] 795
143 핵융합 질문 [NFRI 국가핵융합 연구소] [1] 806
142 ICP에서의 Self bias 효과 [DC offset voltage와 floating potential] [1] 827
141 skin depth에 대한 이해 [Stochastic heating 이해] [1] 847
140 plasma striation 관련 문의 [Plasma striation] [1] file 852
139 전공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [Ion beam source] [1] file 854
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137 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [Plasma information과 monitoring] [1] file 877
136 CCP RIE 플라즈마 밀도 [Global model, Plasma generation, Ionization collision] [1] 926
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