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공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56668
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68015
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90254
126 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 706
125 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 707
124 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 726
123 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 731
122 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 752
121 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 752
120 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 762
119 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 786
118 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 815
117 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 838
116 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 840
115 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 845
114 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 846
113 anode sheath 질문드립니다. [1] 861
112 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 871
111 Plasma Generator 관련해서요. [1] 886
110 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 910
109 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 912
108 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 965
107 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 972
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