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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [RF 전원과 매칭]
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H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [ICP와 H field]
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CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [식각 교재 참고]
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해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [Plasma breakdown과 살균 과정]
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ICP에서 biasing 질문 [RF sheath와 self bias]
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ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [플라즈마 생성 반응]
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Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [Powder]
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챔버의 Plasma density 확인방법 문의드립니다. [플라즈마 모니터링, OES, LP]
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수중방전에 대해 질문있습니다. [플라즈마 생성 및 방전]
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조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [열플라즈마와 "플라즈마 금속학"]
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핵융합 질문 [NFRI 국가핵융합 연구소]
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ICP에서의 Self bias 효과 [DC offset voltage와 floating potential]
[1] | 822 |
141 |
skin depth에 대한 이해 [Stochastic heating 이해]
[1] | 833 |
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전공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [Ion beam source]
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plasma striation 관련 문의 [Plasma striation]
[1] | 849 |
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챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [플라즈마 생성, Plasma collision reaction]
[1] | 861 |
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연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [Plasma information과 monitoring]
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CCP RIE 플라즈마 밀도 [Global model, Plasma generation, Ionization collision]
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안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [플라즈마 이온화 및 해리 반응, 반응기 벽면 세정]
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파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [Matcher 기능]
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