번호 제목 조회 수
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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 72686
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 103990
793 ICP에서 전자의 가속 [Plasma breakdown 이해] [1] 415
792 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [Sheath energy] [1] 416
791 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 418
790 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [Pachen's law 이해] [1] 422
789 가스 조성 및 온도에 따른 식각률 관련 질문입니다. [Arrhenius equation 이해] [1] 423
788 HF PLASMA DEPOSITION 시 POWER에 따른 DEP RATE 변화 [장비 플라즈마, Rate constant] [1] 424
787 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 430
786 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [박막] [1] 432
785 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [Impedance matching 이해] [1] 432
784 ICP 장비 TCP Reflect 발생 간 조언 부탁드립니다. [1] 434
783 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [대기압 환경 플라즈마와 라디컬 분포] [1] 439
782 대기압 플라즈마 문의드립니다 [플라즈마 전원 이해] [1] 446
781 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [Lorentz force와 ExB drift 이해] [1] 448
780 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [RF 전원과 매칭] [1] 454
779 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 459
778 Sputtering을 이용한 film deposition [진공 및 오염입자의 최소화] [1] 474
777 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [Rise rate] [1] 495
776 chamber에 인가되는 forward power 관련 문의 [송전선로 모델 및 전원의 특성] [1] 519
775 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [박막 문제] [1] 519
774 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [전자 충돌 현상 및 입자 충돌 현상] [1] 520

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