다음 사항을 고려해 보시기 바랍니다.

Standing wave 는 wave가 서 고정된 것과 같은 파동 특성을 보이고 있다는 것입니다. 여기서 고려하는 웨이브는 전기장이라 생각하면 좋습니다. 즉 RF 전기장의 파장 내에서 진동을 하는데, 그 파장의 크기가 타킷 또는 안테나 또는 전극의 크기 보다 작은 영역에서

흔들림을 가지고 있다는 의미입니다. 

SW와 공정을 관련지으는 이유는 뭘까요? 플라즈마 가열과 연결해야 설명이 될 겁니다. 공부해 보세요. 

즉 SW는 플라즈마 생성과 관련됩니다. 하면 SW과 공정과 관계는 무엇일까요? 생성된 플라즈마 내에서 공정 입자들이 만들어 지고,

표면에서 반응하게 됩니다. 따라서 플라즈마 생성 분포가 공정 분포와 관계가 되겠습니다. 하지만 정확하게 일치하지는 않지요. 대부분의 박막에서 사용되는 입자들은 중성입자들이기 떄문입니다. 즉 전기장 분포와 플라즈마 분포가 관계가 되겠지만, 박막 분포에는 또 다른 관계가 있을 것 같습니다. 공부해 보세요. 

따라서, 전기장 세기 분포, 플라즈마 분포, 공정 분포 간의 관계를 따지는 것이 공정 균일도 문제를 보는 시각이 됩니다. 

관련 사항들 게시판에서 찾아 볼 수 있을 것 같습니다. 구글링해도 많이 찾을 수 있습니다. 먼저 Maxwell 방정식을 공부하셔야 합니다.