OES 플라즈마 진단 OES 관련 질문

2022.11.27 01:07

wldn 조회 수:678

안녕하세요, 플라즈마 관련하여 공부하고 있는 대학원생입니다.

 

플라즈마 진단 장비인 OES에 대해 몇가지 궁금증이 있어 글을 남깁니다.

 

OES로 실시간 플라즈마 공정 모니터링을 진행시 spectrum data가 검출되는데,

해당 spectrum data 파장영역에서 검출되는 원소를 찾아 정성분석이 가능하지만,

반면 정확한 정량분석은 어떻게 이루어 지는지 원리를 알고 싶습니다.

 

OES 정량분석을 공부하다가, 다른 논문들을 통해 actinometry으로 OES 정량분석을 진행하는걸 확인하였는데,

actinometry 방법 사용 이유, 원리 등을 자세하게 알고 싶습니다. 

 

또한 플라즈마를 이용한 건식식각 공정 중 OES를 이용하여 etch chemistry를 알 수 있는 방법이 있다면, 어떠한게 있을까요?

 

질문방의 여러가지 다양한 질문과 답변을 통해 많은 도움을 받고 있습니다.

감사합니다.

 

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [256] 76402
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19990
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57066
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68537
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91318
676 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 548
675 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 548
674 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 549
673 핵융합 질문 [1] 558
672 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 564
671 활성이온 측정 방법 [1] 566
670 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 566
669 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 568
668 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 568
667 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 570
666 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 572
665 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 572
664 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] 573
663 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 577
662 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 577
661 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 581
660 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 586
659 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 591
658 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 592
657 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 601

Boards


XE Login