DC glow discharge 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!?
2016.06.02 13:58
플라즈마 띄울때
산소 소모량이 40 l/min이라고 합니다.
(공기평균 분자량은 29 g/mol)이라고 괄호가 쳐있구요
만약 Ar일때는 분당 몇 l가 소모될까요???
자세한 답변 부탁드립니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 77095 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20402 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57312 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68853 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92867 |
| 158 | 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] | 1940 |
| » | 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] | 1969 |
| 156 | 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] | 1997 |
| 155 | ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] | 2004 |
| 154 | CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] | 2024 |
| 153 | LF Power에의한 Ion Bombardment [2] | 2109 |
| 152 | 플라즈마 관련 기초지식 [1] | 2154 |
| 151 | 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] | 2157 |
| 150 | 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] | 2182 |
| 149 | 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] | 2255 |
| 148 |
플라즈마볼 제작시
[1]  | 2263 |
| 147 | RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 | 2291 |
| 146 | N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] | 2300 |
| 145 | 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? | 2342 |
| 144 | plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] | 2441 |
| 143 | RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] | 2463 |
| 142 | 질문있습니다. [1] | 2589 |
| 141 | 플라즈마 압력에 대하여 [1] | 2737 |
| 140 | PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] | 2812 |
| 139 | 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 | 3167 |
플라즈마를 띄울떄 먼저 찾아 보아야 할 자료가 있습니다. 사용하는 가스에 대해서 방전개시전압 (breakdown voltage: 절연파괴전압이라 하는데 이는 방전기 전극 사이의 가스를 하나의 절연체로 보고 이 절연체에 전류가 소통하기 시작할 때의 인가 전압) 혹은 방전 개시 전기장에 대해서 자료를 찾아 보시는 것이 좋습니다. 공기의 경우 제 기억에 Vb=3000d+1.35kV 이고 (여기서 d 는 전극간의 간격), 상응하는 전기장 Eb=3000+1.35/d (kV/m)가 됩니다. 또한 각각의 입자의 이온화 에너지를 생각해 보는 것이 좋습니다. (본 게시판에 방전개시에 필요한 현상 설명이 있으니 찾아 보시기 바랍니다) 따라서 방전은 가스의 종류와 운전 압력 및 방전기 구조에 따라 틀려지게 됩니다. 매우 유속이 빠른 경우를 제외하고는 방전기 내의 유속 보다 중요한 것은 방전 공간의 압력이 되겠고, 이때 플라즈마가 형성되면 이온화율로 얼마나 많은 플라즈마 이온과 전자 쌍이 생겼을까를 고려하게 됩니다. 이들 중에 특히 전자는 플라즈마를 유지시키는데 필요하고 아울러 같이 넣은 가스들을 화학적 활성종으로 만드는데 크게 기여하게 됩니다. 아울러 이온은 처리 시편에 에너지를 가진 화학종 (입자) 입사의 역할을 하여 반응을 활성화 시키게 됩니다. 따라서 플라즈마 띄울때는 플라즈마 방전 혹은 이온화의 의미로 자료를 찾아 보시는 것이 좋고, 플라즈마가 발생되면 이온화율 (압력에 따른 단위 부피 당 몇 개의 입자가 플라즈마가 되었는가)가 중요하게 됩니다. 이 값은 처리 수율에 직접 관계하는 인자이기 때문에, 어떤 처리를 위해서 전력을 높여라, 압력을 높여라 (가스 flow rate높여라) 하는 조건이 함유하고 있는 물리적 현상을 이해할 수가 있습니다.