안녕하세요. 경희대학교에서 플라즈마에 대한 학부연구를 진행하고 있는 박준우라고 합니다.

플라즈마의 전자 온도에 대한 간단한 질문이 있어 QNA 드립니다.

 

플라즈마 내의 전자가 물질(substrate)과 충돌했을 때, 맞은 substrate의 전자도 온도가 올라가는 것으로 알고 있습니다.

이 때 일반적으로 진공에 떠돌아 다니는 전자의 온도와, substrate의 전자 온도의 정의를 똑같이 할 수가 없다고 하는데, 정확히 어떻게 정의가 달라지는지 궁금하여 질문 드립니다.

 

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [256] 76403
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19992
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57066
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68541
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91339
636 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 691
635 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 692
634 Self bias 내용 질문입니다. [1] 698
633 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 703
632 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 706
631 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 709
630 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 710
629 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 710
628 ICP 후 변색 질문 712
627 교수님 질문이 있습니다. [1] 719
626 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 731
625 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 731
624 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 750
623 라디컬의 재결합 방지 [1] 758
622 Collisional mean free path 문의... [1] 765
621 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 765
620 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 766
619 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 771
618 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 774
617 RF 파워서플라이 매칭 문제 778

Boards


XE Login