OES 플라즈마 진단 OES 관련 질문
2022.11.27 01:07
안녕하세요, 플라즈마 관련하여 공부하고 있는 대학원생입니다.
플라즈마 진단 장비인 OES에 대해 몇가지 궁금증이 있어 글을 남깁니다.
OES로 실시간 플라즈마 공정 모니터링을 진행시 spectrum data가 검출되는데,
해당 spectrum data 파장영역에서 검출되는 원소를 찾아 정성분석이 가능하지만,
반면 정확한 정량분석은 어떻게 이루어 지는지 원리를 알고 싶습니다.
OES 정량분석을 공부하다가, 다른 논문들을 통해 actinometry으로 OES 정량분석을 진행하는걸 확인하였는데,
actinometry 방법 사용 이유, 원리 등을 자세하게 알고 싶습니다.
또한 플라즈마를 이용한 건식식각 공정 중 OES를 이용하여 etch chemistry를 알 수 있는 방법이 있다면, 어떠한게 있을까요?
질문방의 여러가지 다양한 질문과 답변을 통해 많은 도움을 받고 있습니다.
감사합니다.
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본 게시판에서 OES 또는 광진단을 찾아 보시면 도움이 될 것 같습니다. 아울러 Boffard 및 Zhu 의 논문과 원자 분광학을 공부하시면 도움이 됩니다. 광진단 센서의 데이터는 다양한 용도로 쓰이고, 목적에 따라 해석 및 분석 방법이 개발되는 현황이니 이점 참고하시면 좋을 것 같습니다. 즉, 광신호에는 많은 물리정보가 들어 있으므로, 목적에 맞추어 그 신호 분석을 통해 목적하는 정보를 찾겠다는 전략이 효과적임을 고려해 보세요.
아울러 OES 신호 .calibration 도 병행하면서 공부하시기를 추천합니다.