ICP 공정플라즈마

2019.10.27 18:33

sungsustation 조회 수:866

교수님 안녕하세요. 플라즈마 공부하고 있는 학부생인데 기초가 많이 부족해서 질문드립니다.


1. 공정플라즈마에서 전자 온도가 이온, 중성기체의 온도 보다 매우 높은 이유는 무엇인지 궁금합니다.


2. 플라즈마에 유체방정식이 무엇이고 각 항의 의미가 어떻게 되는 궁금합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5902
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17352
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53177
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65107
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85201
538 고진공 만드는방법. [1] 844
537 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 845
536 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 847
535 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 851
534 plasma 형성 관계 [1] 852
533 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 853
532 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 860
» 공정플라즈마 [1] 866
530 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 867
529 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 874
528 wafer bias [1] 878
527 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 881
526 Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미 [1] 882
525 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 882
524 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 885
523 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 886
522 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 897
521 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 901
520 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 908
519 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 917

Boards


XE Login