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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 76968
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836 OES Actinometry 측정 방법 74
835 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 202
834 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 270
833 플라즈마 식각 커스핑 식각량 315
832 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [열전달 방정식 이해] [1] 385
831 OES를 통한 Radical 생성량 트렌드 파악 [1] 395
830 [Update] Shower Head의 구멍이 일부 막힌 Case의 출력 [1] 401
829 플라즈마 설비에 대한 질문 404
828 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 416
827 Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [표면파의 전파] [1] 431
826 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [유전체 상태 모니터링] [1] 441
825 corona model에 대한 질문입니다. [준중성과 저압플라즈마] [1] 455
824 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스] [1] 456
823 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [Bactericidal 이해] [2] 459
822 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 485
821 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [RF Power] [1] 486
820 Ar Plasma로 AlN Pedestal 표면에 AlFx desorption 가능 여부가 궁금합니다. [1] 487
819 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [초고밀도 플라즈마] [1] file 490
818 Lxcat dataset에 따른 Plasma discharge에 대한 질문입니다. [CX 데이터] [1] 490
817 Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [식각 플라즈마의 가장자리 균일도 제어] [1] 491

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