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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 76674
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836 OES Actinometry 측정 방법 12
835 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 194
834 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 260
833 플라즈마 식각 커스핑 식각량 311
832 OES를 통한 Radical 생성량 트렌드 파악 [1] 325
831 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [열전달 방정식 이해] [1] 369
830 [Update] Shower Head의 구멍이 일부 막힌 Case의 출력 [1] 369
829 플라즈마 설비에 대한 질문 398
828 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 403
827 Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [표면파의 전파] [1] 419
826 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [유전체 상태 모니터링] [1] 427
825 corona model에 대한 질문입니다. [준중성과 저압플라즈마] [1] 447
824 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [Bactericidal 이해] [2] 447
823 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스] [1] 447
822 Ar Plasma로 AlN Pedestal 표면에 AlFx desorption 가능 여부가 궁금합니다. [1] 457
821 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각] [1] 472
820 동일한 RF방전챔버에서 화학종별 이온화율에 대한 질문 [1] 474
819 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 478
818 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. 478
817 Lxcat dataset에 따른 Plasma discharge에 대한 질문입니다. [CX 데이터] [1] 479

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