번호 제목 조회 수
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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69143
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93400
777 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [Impedance matching 이해] [1] update 185
776 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [Child-Langmuir law 이해] [1] update 189
775 Microwave & RF Plasma [플라즈마 주파수와 rate constant] [1] update 203
774 Sputtering을 이용한 film deposition [진공 및 오염입자의 최소화] [1] update 209
773 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [1] file 210
772 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [Bactericidal 이해] [2] update 216
771 ICP에서 전자의 가속 [Plasma breakdown 이해] [1] update 220
770 AP plasma 공정 관련 문의 [OES 활용 장비 플라즈마 데이터 분석] [1] update 229
769 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 230
768 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 240
767 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 242
766 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [식각 교재 참고] [1] updatefile 254
765 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 262
764 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [Ar, O2 플라즈마 생성 특성] [1] update 265
763 skin depth에 대한 이해 [Stochastic heating 이해] [1] update 265
762 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [HV probe 전압 측정] [2] updatefile 269
761 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 276
760 Cu migration 방지를 위한 스터디 [전자재료] [1] update 276
759 대기압 플라즈마 문의드립니다 [플라즈마 전원 이해] [1] update 286
758 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [박막 문제] [1] update 311

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