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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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micro arc에 대해 질문드립니다. [DC glow 방전과 breakdown 전기장]
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plasma modeling 관련 질문 [Balance equation]
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Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다.
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RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [장비 분해 리빌트 및 테스트]
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Wafer 영역별 E/R 차이에 대한 질문 [Gas flow system vs E/R]
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Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [DC breakdown 및 sheath]
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767 |
RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [OES 진단과 sputter yield]
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RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [RF matcher noise]
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765 |
타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [플라즈마 확산]
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764 |
Cu migration 방지를 위한 스터디 [전자재료]
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인가전압과 ESC의 관계 질문 [Floating sheath]
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플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [Ar, O2 플라즈마 생성 특성]
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plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다. [DC 바이어스 전압과 쉬스 전기장]
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CVD 박막 Clean 중 Ar에 의한 Etch 여부가 궁금합니다. [Ar plasma chemical etching]
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center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2
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안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [상압 플라즈마 임피던스, matching]
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텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [Plasma Cleaning]
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공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [Sheath uniformity 이해]
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Etch Plasma 관련 문의 건.. [RF 주파수와 플라즈마 주파수]
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754 |
RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메커니즘에 대해 질문하고 싶습니다. [플라즈마-화학-표면 반응 모델]
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