Others ECR plasma 장비관련 질문입니다. [ECR과 enhanced process]
2010.10.18 17:35
안녕하세요, 저는 한국과학기술원 석사과정에 재학중인 최선진입니다.
홈페이지에서 plama를 이용한 흥미로운 연구를 하고 있는것 잘 살펴 보았습니다.
다름이 아니라 장비에 관하여 궁금한 점이 있어서, 메일로 질문을 드릴려다가 이곳에 남깁니다.
ECR(electron cyclotron resonance) plama에 관한 것인데요, 혹시 이장비를 이용하여 oxidation을 할 수 있을까요?
특히, 금속 물질을 oxidation하기 위함입니다.
답변부탁드립니다.
점점 차가워지는 날씨에 감기조심하십시오.
감사합니다.
최선진 올림.
댓글 2
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